東漢時(shí)期：

東漢時(shí)，御史臺(tái)稱憲臺(tái)，仍以御史中丞為長(zhǎng)官，但職權(quán)有所擴(kuò)大。御史臺(tái)名義上轉(zhuǎn)屬少府，實(shí)為最高的專門監(jiān)察機(jī)關(guān)。它與地位顯要的尚書臺(tái)、掌管宮廷傳達(dá)的謁者臺(tái)，同稱“三臺(tái)”。

把全國(guó)分成13個(gè)監(jiān)察區(qū),包括1個(gè)司隸（中央直轄區(qū)）和12個(gè)州。每州置1刺史，用以監(jiān)察地方政情、受理案件、考核官吏。由于事權(quán)混雜，后來刺史逐漸變?yōu)榱桉{于郡之上的一級(jí)地方一級(jí)的行政長(zhǎng)官，失去了監(jiān)督地方的作用，故改稱州牧，州也由監(jiān)察區(qū)變?yōu)樾姓^(qū)，地方的監(jiān)察制度便基本瓦解。

魏晉南北朝時(shí)期：

各朝的監(jiān)察機(jī)構(gòu)名目不一，但體制與漢代相同，亦有部分變化。魏晉時(shí)，御史臺(tái)不再隸屬少府，而成為由皇帝直接掌握的全國(guó)性的監(jiān)察機(jī)構(gòu)。南梁、后魏、北齊的御史臺(tái)（亦稱南臺(tái)）和后周的憲臺(tái)，仍以御史中丞為主官，北魏稱御史中尉。由于監(jiān)察長(zhǎng)官權(quán)勢(shì)日大，出現(xiàn)了防范監(jiān)察官員犯法瀆職的規(guī)定。群臣犯罪，若御史中丞失糾，也要罷官。

隋期時(shí)期：

隋代時(shí),中央的監(jiān)察機(jī)構(gòu)仍為御史臺(tái),改長(zhǎng)官御史中丞為御史大夫，下設(shè)治書御史2人為副；改檢校御史為監(jiān)察御史，共12人，專執(zhí)掌外出巡察。

唐朝時(shí)期：

唐初,中央設(shè)御史臺(tái)，由正三品御史大夫?yàn)榕_(tái)長(zhǎng)，設(shè)正四品御史中丞2人為輔佐。御史臺(tái)的職權(quán)是“掌邦國(guó)刑憲典章之政令，以肅正朝列”。唐初全國(guó)分為10個(gè)監(jiān)察區(qū)，稱10道（后增為15道），每道設(shè)監(jiān)察御史1人，專門巡回按察所屬州縣。唐代進(jìn)一步擴(kuò)大了監(jiān)察機(jī)構(gòu)和御史的權(quán)力。御史臺(tái)享有一部分司法權(quán)，有權(quán)監(jiān)督大理寺和刑部的司法審判案件。諫官系統(tǒng)在唐朝也趨于完備。